close

湿制程设备

  • 清洗机

    清洗机
    配合制程需求，可搭配各式清洗机构、磨刷机微雾化清洗系统 (Micro Drop Spray)、药水清洗等等。运用于高洁净度的制程前或会产生脏污的制程后。
    更多

  • 显影机

    显影机
    依客户使用之显影液(develop)与制程，选择相对应之槽体材料与功能性，并考虑显影制程之均匀性与显影速率，使用相对应喷洒系统与机构。
    更多

  • 蚀刻机

    蚀刻机
    依客户使用之蚀刻液( etch )与制程，选择相对应之槽体材料与功能性，并考虑蚀刻制程之均匀性与蚀刻速率，匹配相对应喷洒系统与机构长度。
    更多

  • 剥膜机

    剥膜机
    依客户使用之剥膜液(stripper)与制程，选择相对应之槽体材料，并配合被剥膜光阻特性，运用机构设计达制程使用最佳状况。可搭配消防系统与浓度监控仪。
    更多

回到顶部